Kelionių diapazonas
20 mm
Rezoliucija
0,125 μm
Pakartojamumas
＜1 μm
Tiesumas
＜2 μm
Lygiagretumas
＜5 μm
Pitingas
10″(50 μrad）
Žingsnis
Maksimalus greitis
5 mm/sek
Apkrova
10 kg
Svoris
1,5 kg
